Phasenseparierende Prozesse hochqualitativer optischer Sc...
Nach dem heutigen Stand der Technik werden mit dem Ionenstrahlzerstäubungsverfahren (engl. Ion Beam Sputtering - IBS) optische Dünnschichtsysteme mit geringsten Verlustraten realisiert, die höchste Qualitätsstandards erfüllen. Da das IBS-Verfahren in seiner bisherigen Konzeption relativ ausgereift ist, sind künftig nur inkrementelle Verbesserungen zu erwarten.Mit dem Ziel das IBS-Verfahren dennoch zu verbessern, wird in dem vorliegenden Werk die Möglichkeit einer Erweiterung des ...